層流式：層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高
架地板或兩側(cè)隔板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為
CLASS1-100。其型式可分為二種：
                                       
水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，
一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。
                     
垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中
或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會(huì)影響其他工作區(qū)域。

                          
亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器（HEPA）進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間
墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)
1000-100，000級(jí)。
                                       
復(fù)合式：復(fù)合式為將亂流式及層流式予以符合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。我們也稱(chēng)之為非單向流。