半導(dǎo)體車(chē)間一般要達(dá)到較高的凈化級(jí)別，通常是在ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的特定級(jí)別。根據(jù)ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體車(chē)間一般要達(dá)到ISO5級(jí)（等同于舊版FS209E標(biāo)準(zhǔn)的Class100級(jí)）或更高的凈化級(jí)別。

　　在ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)中，不同的凈化級(jí)別對(duì)空氣中的微粒數(shù)量有不同的要求。例如，ISO5級(jí)要求每立方米空氣中的粒子直徑大于0.5微米的數(shù)量不超過(guò)3,520個(gè)，直徑大于5微米的數(shù)量為0個(gè)。而更高級(jí)別的凈化要求則更加嚴(yán)格。

　　實(shí)現(xiàn)這樣高凈化級(jí)別的半導(dǎo)體車(chē)間通常需要采取一系列的凈化措施，包括但不限于：

　　1.安裝高效過(guò)濾器和空氣凈化設(shè)備，如HEPA（高效顆?？諝猓┻^(guò)濾器和ULPA（超高效顆?？諝猓┻^(guò)濾器，以去除空氣中的微粒。

　　2.控制和維護(hù)恒定的溫度、濕度和壓力，以保持穩(wěn)定的環(huán)境條件。

　　3.確保車(chē)間內(nèi)的清潔程度，包括定期清潔地面、墻壁、設(shè)備和工作臺(tái)等。

　　4.限制人員進(jìn)入車(chē)間，并采取適當(dāng)?shù)墓ぷ鞣⑿缀褪痔椎确雷o(hù)措施，以減少人員帶入的微粒。

　　這些凈化措施的目的是為了保證半導(dǎo)體制造過(guò)程中的產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性，因?yàn)槲⑿〉念w?？赡軙?huì)對(duì)半導(dǎo)體器件的性能產(chǎn)生重大影響。因此，半導(dǎo)體車(chē)間需要達(dá)到較高的凈化級(jí)別來(lái)確保良好的生產(chǎn)環(huán)境。